石英坩堝具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn),它的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。石英坩堝的檢測(cè)工作是一個(gè)十分重要的環(huán)節(jié),而且石英坩堝的檢測(cè)朝向現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)方向發(fā)展!我們?cè)谑褂玫臅r(shí)候具體多少的溫度可以用呢,大家可能還不是很清楚,今天來(lái)了解一下。
石英坩堝可在1450度以下運(yùn)用,分通明和不通明兩種。用電弧法制的半通明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅,發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當(dāng)今,國(guó)際半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家已用此坩堝取代了小的通明石英坩堝。他具有耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量安穩(wěn)等長(zhǎng)處。
不能和HF觸摸,高溫時(shí),容易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽效果。石英坩堝適于用K2S2O7,KHSO4作熔劑熔融樣品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔劑處理樣品。石英質(zhì)脆,易破,運(yùn)用時(shí)要注意。
除HF外,一般稀無(wú)機(jī)酸可用作清洗液。國(guó)內(nèi)常用拉制單晶硅用石英坩堝18英寸和20英寸22英寸也有廠家運(yùn)用22及以上的坩堝。目前國(guó)內(nèi)坩堝出產(chǎn)大廠家出產(chǎn)的坩堝技能都比較老練。其出產(chǎn)運(yùn)用質(zhì)料石英砂由美國(guó)進(jìn)口和挪威高純石英砂兩種。也有小廠運(yùn)用國(guó)產(chǎn)料其質(zhì)料出產(chǎn)的石英坩堝對(duì)拉制單晶硅時(shí)其安穩(wěn)性都有必定影響。
目前坩堝出產(chǎn)涂層技能已被大多數(shù)廠家運(yùn)用就是在一般石英砂溶制的坩堝外表涂上一層二氧化鋇溶液使其形成細(xì)密層,其細(xì)密層能阻撓單晶硅高溫拉制過(guò)程中硅與石英坩堝反應(yīng)提高成晶率。
以上小編給大家講述的石英坩堝可在1450度以下運(yùn)用,但是不能超過(guò)1450度以上運(yùn)用,它的應(yīng)用越來(lái)越廣泛,在未來(lái)很有發(fā)展前景,大家在使用前,可以多了解一些過(guò)于石英坩堝的知識(shí),以便更好使用它。
小編:Sara